bsp;大不了等一、二年，G研制成功130nm制程工艺的光刻机后，PGCA再从G制程工艺的半导体生产线。
孙健也想通了。
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“同志们辛苦了，我代表公司奖励800nm制程工艺光刻机项目组200万元，其中奖励邓院长8万元，奖励欧阳副院长和程院长各5万元。”
啪啪……
BSEC半导体研究院研究成功800nm制程工艺光刻机也在孙健的预料之中。
1993年8月，TIC收购GCA后，在孙董事长的建议下，BSEC以全球独一无二的磁悬浮式光刻机双工作台系统专利交换了GCA拥有的ArF准分子激光器专利和800nm制程工艺专利的终身使用权和开发权。
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