制成功,但光刻机样机制程工艺突破500nm,达到350nm。
意外惊喜!
这款8英寸晶圆和350nm制程工艺的光刻机,被命名为gca3500a光刻机。
gca3500a光刻机追上了nikon3500a光刻机,由于安装有磁悬浮式双工作台系统,制程工艺精度和生产效率明显超过了nikon3500a光刻机。
gca3500a光刻机突破了困扰了g制程工艺光刻机的瓶颈!
孙健吩咐艾德里安申请公司股票停牌,邀请sematech专家组进行技术认证,拿到认证鉴定后,gca3500a光刻机制造技术分别向美国专利局和世界专利局申请公司发明专利,邀请全球晶圆公司参观gca3500a光刻机样机。
由美国政府每年财政拨款1亿美元资助的sematech,宗旨就是提高美国国内半导体产业的技术。
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